Đây là nội dung chính quy định tại Nghị quyết số 132/NQ-CP ngày 27/12/2013 của Chính phủ về việc điều chỉnh địa giới hành chính huyện Từ Liêm để thành lập 02 quận và 23 phường thuộc TP. Hà Nội.
Theo Nghị quyết này, trên cơ sở huyện Từ Liêm (cũ), thành lập 02 quận mới, lấy tên là Bắc Từ Liêm và Nam Từ Liêm. Trong đó, quận Bắc Từ Liêm gồm 13 phường được thành lập từ toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của các xã Thượng Cát, Liên Mạc, Tây Tựu, Thụy Phương, Minh Khai, Phú Diễn, Đông Ngạc, Xuân Đỉnh, Cổ Nhuế; 9,30 ha diện tích tự nhiên và 596 nhân khẩu xã Xuân Phương; 75,48 ha diện tích tự nhiên và 10.126 nhân khẩu của thị trấn Cầu Diễn. Quận Bắc Từ Liêm có 4.335,34 ha diện tích tự nhiên và 320.414 nhân khẩu.